沪某半导体行业集成块制作加工厂家,晶圆制作加工环节中呈现含硅、氟的个性化废气进行正确处理工艺,结构设计进行正确处理投资额1200吨/日。废气进行正确处理工艺基本成分多样化,具有微米级硅科粒及氢氧化钠,老式进行正确处理策略难达到。
化工废水含量及因素
关键造成的污染物质
:橡胶胶体部分硅(100-500nm粒度分布)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇
渠道工艺流程
:晶圆刻蚀废气处理工艺(45%)、CMP化学工业自动化机械打蜡 废气处理工艺(40%)、设施清洗阴道水(15%)
工作生产制作流程图
什么是创新选取"物理放置+机械膜分離"枝术的路线:
钙盐沉积
:加药氯化钙除去氟正离子(转换成CaF2积淀)
斜管沉淀池不良反应
:复合材料斜管沉淀池剂实现了悬浊液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm粒径膜挤占微细粉末
反覆盖软件
:脱盐率>98%,回笼率75%
汽化晶体
:浓水段实行氟化物零释放
最终能够的效果
氟化物氨水浓度:<8mg/L(降到祖国一个规范10mg/L)
硅分子量:<5mg/L
水資源使用率:70%使用在闭式圆形冷却塔塔补水保湿
危废处理回收利用:多效蒸发沉渣量较经典流程缩减60%