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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

沪某半导体行业集成块制作加工厂家,晶圆制作加工环节中呈现含硅、氟的个性化废气进行正确处理工艺,结构设计进行正确处理投资额1200吨/日。废气进行正确处理工艺基本成分多样化,具有微米级硅科粒及氢氧化钠,老式进行正确处理策略难达到。 化工废水含量及因素 关键造成的污染物质 :橡胶胶体部分硅(100-500nm粒度分布)、氟阴离子(200-300mg/L)、异丙醇 渠道工艺流程 :晶圆刻蚀废气处理工艺(45%)、CMP化学工业自动化机械打蜡 废气处理工艺(40%)、设施清洗阴道水(15%) 工作生产制作流程图 什么是创新选取"物理放置+机械膜分離"枝术的路线: 钙盐沉积 :加药氯化钙除去氟正离子(转换成CaF2积淀) 斜管沉淀池不良反应 :复合材料斜管沉淀池剂实现了悬浊液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm粒径膜挤占微细粉末 反覆盖软件 :脱盐率>98%,回笼率75% 汽化晶体 :浓水段实行氟化物零释放 最终能够的效果 氟化物氨水浓度:<8mg/L(降到祖国一个规范10mg/L) 硅分子量:<5mg/L 水資源使用率:70%使用在闭式圆形冷却塔塔补水保湿 危废处理回收利用:多效蒸发沉渣量较经典流程缩减60%

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