该厂为85英寸晶圆产量线匹配的超去离子水系统的，每顿饭带来含硅废水正确处理方法150吨。废水正确处理方法中虽无高价属，但硅水平高易结渣，且电容率需到达18MΩ·cm这样才能实业废水正确处理。以往正确处理工学院艺不能要求新发布的《电子设备实业水严重废水废气规定》（GB39731-2020）特意废气规定值。 化工废水含量结构特征 最主要的影响物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（比表面积0.1-1μm） 非常规规定要求 ：TOC<10μg/L，硼含水量<5μg/L 污水水质优点 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅有机化合物性状繁杂 除理鑫霖环保过程 不断创新采用了"梯级膜分離+电去化合物"结构鑫霖环保： 微滤预整理 ：1μm陶瓷图片膜阻拦大粉末硅，通量保证80LMH 阴阳离子交換环氧树脂 ：D201大孔树脂胶记忆性吸出硅酸团伙 中级RO软件 ：一段的回收利用率60%，二段用到高脱硼膜元器件封装 EDI电去铝离子 ：交流电强度2A/m²，快速的还原稳定度阴阳离子 紫外线消毒杀菌 ：254nmUV紫外线的线极量40mJ/cm² 水平不足之处 设计专业级阻硅剂（有机物胺类挽回物），延迟膜污染源时间是3倍 EDI传感器创新技术流道制定，硅彻底清除率提高自己至99.8% 网上硅剖析仪（检测的范围之内0.1-500μg/L）建立准确抑制 电脑运行工作成效 经第二方判断： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼含氧量从8μg/L减至0.3μg/L 系統收旧率从原40%发展至68% 膜换洗期减少至5年，年运作成本预算大幅度降低35%