该晶圆加工制造商处在华东的地方的地方,主耍生育加工8寸大光电器件晶圆,日访问量化工废水污染物口量约800吨。因此生育加工环节中在使用过量盐酸开始晶圆蚀刻,出现化工废水下氟化物酸度高达模型200-300mg/L,远超國家污染物口标准(10mg/L下类)。
废渣组成及源头
废水处理工艺大部分产于6个部分:
晶圆蚀刻加工过程
:含高质量浓度氟化物(HF)、氯化铵及极少量血本属
化学反应机械性打蜡 (CMP)污废水
:含nm级硅粒状、有机肥料络合剂
生产设备洗电镀废水
:含异丙醇、氟化物等可挥发物
补救方法具体流程
进行"耐腐蚀发展+混凝土发展+深入过虑"三级分销处置体系:
四级处置
:加药系统氯化钙和氢脱色钙,养成氟化钙凝固,氟化物的还原率达85%
三级清理
:增添PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),的还原溶液态感染物
三阶段整理
:用多导电介质筛选器和活性酶类炭吸咐,出液氟化物盐浓度稳定的在8mg/L下面的
要点的设备其中包括:pH自动式转换控制系统、斜管水解池、板框压滤设备(废水脱水烘干)。
终于作用
顶目执行四年检测数据库表示:
氟化物均浓度值:7.2mg/L(不超祖国规则)
COD清除率:92%
污泥处理含水分率:≤65%
年收旧氟化钙加工品的约150吨,保证资源的化使用